我國是全球制造業(yè)大國，制造業(yè)增加值自2010年起連續(xù)12年位居世界第一，主要產(chǎn)品量穩(wěn)居世界前列．為深入推進(jìn)傳統(tǒng)制造業(yè)改造提升，全面提高傳統(tǒng)制造業(yè)核心競爭力，某設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)對現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行技術(shù)攻堅(jiān)突破．設(shè)備生產(chǎn)的零件的直徑為X（單位：nm）．（1）現(xiàn)有舊設(shè)備生產(chǎn)的零件共7個，其中直徑大于10nm的有4個．現(xiàn)從這7個零件中隨機(jī)抽取3個．記ξ表示取出的零件中直徑大于10nm的零件的個數(shù)，求ξ的分布列及數(shù)學(xué)期望E（ξ）；
（2）技術(shù)攻堅(jiān)突破后設(shè)備生產(chǎn)的零件的合格率為

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，每個零件是否合格相互獨(dú)立．現(xiàn)任取6個零件進(jìn)行檢測，若合格的零件數(shù)η超過半數(shù)，則可認(rèn)為技術(shù)攻堅(jiān)成功．求技術(shù)攻堅(jiān)成功的概率及η的方差；
（3）若技術(shù)攻堅(jiān)后新設(shè)備生產(chǎn)的零件直徑X～N（9，0.04），從生產(chǎn)的零件中隨機(jī)取出10個，求至少有一個零件直徑大于9.4nm的概率．參考數(shù)據(jù)：若X～N（μ，σ²），則P（|X-μ|≤σ）≈0.6827，P（|X-μ|≤2σ）≈0.9545，P（|X-μ|≤3σ）≈0.9973，0.97725¹⁰≈0.7944，0.9545¹⁰≈0.6277．