在芯片制造過程中,離子注入是其中一道重要的工序。如圖所示是離子注入工作原理的示意圖,靜止于A處的離子,經(jīng)電壓為U的加速電場加速后,沿圖中圓弧虛線通過半徑為R0的14圓弧形靜電分析器(靜電分析器通道內(nèi)有均勻輻向分布的電場)后,從P點(diǎn)沿平行硅片方向進(jìn)入半徑為r的圓形勻強(qiáng)磁場區(qū)域,該圓形磁場區(qū)域的直徑PQ與豎直方向成45°,經(jīng)磁場偏轉(zhuǎn),最后打在豎直放置的硅片上。離子的質(zhì)量為m、電荷量為q,不計(jì)離子重力。求:
(1)離子進(jìn)入圓形勻強(qiáng)磁場區(qū)域時的速度大小v;
(2)靜電分析器通道內(nèi)虛線處電場強(qiáng)度的大小E0;
(3)若磁場方向垂直紙面向外,離子從磁場邊緣上某點(diǎn)出磁場時,速度方向與直徑PQ垂直,求圓形區(qū)域內(nèi)勻強(qiáng)磁場的磁感應(yīng)強(qiáng)度B0的大小。
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【答案】見試題解答內(nèi)容
【解答】
【點(diǎn)評】
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發(fā)布:2024/6/27 10:35:59組卷:163引用:2難度:0.4
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1.如題圖所示,在直角坐標(biāo)系的第一象限中有一半徑為R的扇形POQ無場區(qū)域,第一象限剩余區(qū)域(含PQ圓弧邊界)及第四象限均存在垂直于紙面的勻強(qiáng)磁場B。大量質(zhì)量為m,帶電量為q的正粒子從圓弧PQ上各點(diǎn)沿y軸正方向以相同速度v(大小未知)射入磁場,且所有粒子軌跡均交于Q點(diǎn)并被粒子收集盒(圖中未畫)吸收。不計(jì)粒子重力,則( ?。?/h2>
發(fā)布:2024/12/20 13:0:2組卷:27引用:2難度:0.4 -
2.如圖所示,一粒子發(fā)射源P位于足夠大絕緣板AB的上方
處,能夠在紙面內(nèi)向各個方向發(fā)射速率為v、電荷量為q、質(zhì)量為m的帶正電的粒子??臻g存在垂直紙面向里的勻強(qiáng)磁場,不考慮粒子間的相互作用和粒子重力,已知粒子做圓周運(yùn)動的半徑大小恰好為d,則( )d2發(fā)布:2024/12/20 0:30:1組卷:365引用:6難度:0.2 -
3.如圖所示,在直角坐標(biāo)系xOy的第1、4象限內(nèi)存在方向垂直于紙面向外的勻強(qiáng)磁場Ⅰ和Ⅱ,兩磁場以O(shè)P直線為界,OP直線與+x軸夾角為30°,其磁感應(yīng)強(qiáng)度分別為B和2B.一質(zhì)量為m、電荷量為q的粒子從y軸上的N點(diǎn)沿平行于+x軸的方向射直入磁場Ⅰ;一段時間后,該粒子在OP邊界上某點(diǎn)以垂直于OP的方向射入磁場Ⅱ,最后粒子射出磁場。則粒子在磁場中運(yùn)動的時間為( )
發(fā)布:2024/12/24 0:0:3組卷:282引用:1難度:0.6
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