中國芯片蝕刻技術國際領先，NF3進行硅芯片蝕刻時的產(chǎn)物均為氣體，在蝕刻物表面不留任何殘留物，該反應的微觀示意圖如圖所示，下列說法不正確的是（ ?。?br />?
【答案】D
【解答】
【點評】
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發(fā)布：2024/8/15 0:0:1組卷：22引用：1難度：0.5
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發(fā)布：2024/12/22 8:0:1組卷：2引用：1難度：0.5
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